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雙側滑軌式快速退火爐

更新日期：2025-04-03

產品型號：

簡要描述：雙側滑軌式快速退火爐1200℃主要用于離子注入后快速退火、歐姆接觸快速合金、硅化物合金退火、氧化物生長。

  • 廠家實力

    Manufacturer Strength

  • 有效保修

    Valid Warranty

  • 質量保障

    Quality Assurance

詳細介紹

    雙側滑軌式快速退火爐1200℃

    主要用途：高溫快速熱處理退火爐主要用于離子注入后快速退火、歐姆接觸快速合金、硅化物合金退火、氧化物生長。

    雙側滑軌式快速退火爐1200℃

    產品用途：

    高溫快速熱處理退火爐主要用于離子注入后快速退火、歐姆接觸快速合金、硅化物合金退火、氧化物生長，其它快速熱處理工藝。

    產品結構：

    1、采用進口鎢燈管為發熱元件，升溫速度高達200℃/s;

    2、爐膛材料采用進口陶瓷纖維，內有進口氧化鋁涂層，抗熱沖擊；

    3、保護管采用高純石英管，可沖入多種氣體；

    4、石英管兩端采用不銹鋼密封法蘭，耐高溫、耐腐蝕；

    5、滑軌采用鋁合金*滑道；

    6、爐體采用雙層空氣隔熱技術，配有自動冷卻風扇，降低爐體外殼溫度；

技術參數
產品名稱 單位 型號
JZ-5-10 JZ-6-10 JZ-7-10
額定功率 kw 9 9 9
額定電壓 v 220 220 220
溫度 ℃ 1000 1000 1000
工作溫度 ℃ ≤950 ≤950 ≤950
相數 相 三 三 三
加熱區 mm 350 350 350
石英管 直徑 Φ50 Φ60 Φ70/80
長度 L=1300 L=1300 L=1300
氣體流量 L/min 0~7 0~7 0~7
爐膛材料   進口纖維 進口纖維 進口纖維
滑軌長度 mm 1350 1350 1350
真空度 可選機械泵（6.67pa）或擴散泵（6.67*10-2）
標配件 高溫鉤，高溫堵頭，石英舟，高溫手套。

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